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桌子型减震台EHS/EAS

 

圆度仪,轮廓仪减震台,固有频率1.2Hz 精密减震台

 

 

桌子型减震台综合样本



 

该款产品以我们公司主动式来培育起来的除振技术加上SBM机构,再加上新型空气弹簧用。实现了低固有频率的桌子型除振台
用途 膜厚计、段差计、線幅、測長計測、
激光干渉計測、其他 計測機器

特長: 
水平方向支持機構に『SBM機構』(PAT.P/USP)を採用。水平方向の低固有値化を実現。
搭載機器の重量に関係なく水平方向固有振動数をほぼ一定にすることが可能になりました。
水平、垂直と方向別に除振機構を分離。ローリングモードの抑制につながりました。

除振性能:


低固有値でありながら100Hzまでモードの発生を抑え安定した除振性能が得られます。

 

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