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    沈杜公路3872号F楼
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联系人:松岛女士
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手 机:86-19916744134
传 真:86-21-64919011
主动隔振平台

・超薄机身
・XYZ方向和各旋转方向6自由度控制
・Lowest height 150mm
・6 DOF(Degree of Freedom)control
・主动式空压+线性马达隔振系统
・αL4X-911R1-CH主动式隔振平台是结合了空压(低频)和线性马达(高频)的两种优点,专为扫描电子显微镜而设计的高精密隔振平台。
・本主动隔振系统可将影响仪器设备正常工作的安装场地的细微振动,在所有频率范围内予以全面衰减而不降低仪器设备本身具有的各项性能。

■规格

■Specifications

・外形尺寸:902×1102×150(浮起时152)mm

・Size:902×1102×150(floating152)mm

・重量:320kg

・Product Weight:320kg

・承重:1000kg

・Load Capacity:1000kg

・空气源:CDA

・Air Source: CDA

・压力:0.6MPa

・Air Pressure:0.6MPa

・最大流量:21L/min(A.N.R)(★第一次启动时)

・Maximum Air Flow:21L/min(A.N.R)

・通常时:1L/min以下(A.N.R)

・Air Consumption:1L/min(A.N.R)

・电源:单相100~240V 50/60Hz

・Power Supply:1φ100~240V 50/60Hz

・设置面:2mm

・Installation Floor Flatness:2mm

 

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